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國(guó)內(nèi)LDI光刻機(jī)所達(dá)到的量產(chǎn)精度是多少?
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國(guó)內(nèi)LDI光刻機(jī)所達(dá)到的量產(chǎn)精度是多少?

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June 27, 2023

目前,國(guó)內(nèi)LDI光刻機(jī)所達(dá)到的量產(chǎn)精度(線寬),目前了解到的光學(xué)無(wú)掩膜的是在1UM+。

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